由于客觀條件，任何光學系統(tǒng)都不能生成理論上理想的像，各種像差的存在影響了成像質(zhì)量。所謂像差，是指顯微鏡透鏡或反射鏡所呈的像與原物面貌并非完全相同的現(xiàn)象。像差又可以分為幾類，例如球面像差是由于一點光源發(fā)散的光線被分聚在不同的點上的緣故。色彩像差的原3是透鏡的折光指數(shù)隨光波的長短而變化，從而引起像的邊緣呈現(xiàn)色彩。可以理解為實際像與根據(jù)單透鏡理論確定的理想像的偏離，這些偏離是折射定律造成的。像差是由透鏡對色光的不同彎曲能力所致，并造成帶有色暈的像。  所以組成一個光學系統(tǒng)中的透鏡質(zhì)量對顯微鏡的成像影響是非常大的。

 

    透鏡在光學鍍膜的原理是高能離子或原子轟擊某金屬靶，并把自己的動量轉(zhuǎn)給靶中的原子，后者得到足夠的能量時就有可能脫離與相鄰原子的結(jié)合，由靶中逸出。這些被釋放出的原子(或原子團)沉積在樣品表面形成了撞擊后，便由四面八方附著在樣品表面.如果它們還有足夠多的能量，光學顯微鏡則到達待搜蓋樣品的表面時有可能射入1-2個原子層的深度。

 

    金屬原子在樣品表面的沉積速度與許多因素有關(guān).首先，轟擊金屬陰極靶的氣體離子能量增加時濺射出的金屬原子能量也大。其次，容器中的氣體壓強大或放電電流密度增高時，氣體正離子數(shù)量和密度也大。第三，樣品與金屬靶的距離越近，沉積速度越d，但過度接近會使樣品受熱，一方面損傷標本，同時氣體中的雜質(zhì)也影響沉積速度。