392x系列寬光帶等離子缺陷檢測系統(tǒng)可以提供晶圓級別的缺陷檢測、良率改進(jìn)以及對于≤7nm設(shè)計(jì)節(jié)點(diǎn)的邏輯及內(nèi)存的在線監(jiān)測的深紫外（SR-DUV）波段光源技術(shù)可提供超分辨率,同時(shí)配合創(chuàng)新的傳感器，3920和3925對獨(dú)特的缺陷類型具備高靈敏度的捕獲能力。392x系列還配有的pixel•point™和nano•cell™設(shè)計(jì)認(rèn)知算法，能夠在對良率關(guān)鍵的圖案位置捕獲缺陷并對其分類。392x系列將檢測速度和靈敏度相結(jié)合，并支持Discovery at the Speed of Light™（光速發(fā)現(xiàn)）功能，從而使其產(chǎn)量達(dá)到在線監(jiān)測的要求，在研發(fā)和批量生產(chǎn)中縮短了晶圓級數(shù)據(jù)的采集時(shí)間并能完整表征制程問題。

主要應(yīng)用

缺陷發(fā)現(xiàn)、制程弱點(diǎn)發(fā)現(xiàn)、制程調(diào)試、EUV光刻制程檢查、工程分析、生產(chǎn)線監(jiān)控、制程窗口發(fā)現(xiàn)

相關(guān)產(chǎn)品

3900 and 3905: 寬光譜等離子晶圓缺陷檢測儀，針對10nm及以下的邏輯和內(nèi)存器件進(jìn)行針對影響良率的關(guān)鍵缺陷的檢測。

29xx 系列: 針對一系列設(shè)計(jì)節(jié)點(diǎn)和器件類型，與39xx系列的檢測性能相輔相成的寬光譜等離子晶圓缺陷檢測儀。