行業(yè)應(yīng)用
測量要求
掃描面板探針表面三維形貌，提取profile測量探針頂端的磨損情況
主要特點概覽
1.非接觸式測量，一體化設(shè)計
2.三維形貌掃描，多功能數(shù)據(jù)處理
3.適用于各種材料的準(zhǔn)確測量
4.使用簡單，裝拆方便
5.掃描速度快，定位精度高
6.±0.5到±1μm重復(fù)精度保證
7.穩(wěn)定性高，抗干擾能力強
測量結(jié)果
探針磨損前高度約為1OOμm左右，磨損后約為80μm
解決現(xiàn)階段測量裝置存在的問題
1.對測量材料有一定要求
2.接觸式測量，對測量材料有損壞
3.測量范圍小，位置不確定，測定困難
4.測量速度慢、精度低，測量誤差大
5.結(jié)構(gòu)復(fù)雜，成本高
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