產(chǎn)品特性：熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡JSM-7600F是兼顧冷場的高分辨率和熱場大束流為一體的熱場發(fā)射掃描電鏡。
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高分辨熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡JSM-7600F是日本電子株式會(huì)社2008年下半年推出的兼顧冷場的高分辨率和熱場大束流為一體的熱場發(fā)射掃描電鏡，它幾乎集成了當(dāng)今掃描電鏡的全部前沿技術(shù)，200nA的大電流在保證高分辨率的同時(shí)，得到高速樣品分析結(jié)果，空間分辨率很高，對導(dǎo)電性差的樣品也有很多解決辦法。JSM-7600F自動(dòng)化程度高，操作直觀方便。
高分辨熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡JSM-7600F主要特點(diǎn)
1.主動(dòng)式減震器
2.磁懸浮分子泵系統(tǒng)，無需UPS保護(hù)
3.標(biāo)配的五軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)全對中樣品臺(tái)
4.全自動(dòng)樣品更換氣鎖
5.全自動(dòng)樣品監(jiān)控系統(tǒng)
6.全自動(dòng)物鏡光闌
7.多通道顯示系統(tǒng)
8.減速系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)配置
9.能量過濾器標(biāo)準(zhǔn)配置
10.可以選配1.5nm高分辨LABE背散射電子探頭
11.可以選配掃描投射探頭（STEM）
高分辨熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡JSM-7600F技術(shù)參數(shù)
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SEI 分辨率 |
1.5 nm（1 kV）（在GB 模式下），1.0 nm（15 kV） |
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放大倍數(shù) |
25 到 1,000,000x |
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加速電壓 |
0.1 到 30 kV |
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束流 |
1 pA 到 200 nA（15 kV時(shí)） |
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光闌角控制鏡 |
內(nèi)置 |
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探測器 |
上方和下方探測器 |
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能量過濾器 |
新 γ過濾器 |
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柔和光束 |
內(nèi)置 |
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數(shù)字圖像 |
1,280 x 960，2,560 x 1，920, 5,120 x 3,840 |
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樣品交換室 |
單步加載/卸載 |
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樣品臺(tái) |
全對中，5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng) |
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真空系統(tǒng) |
2 SIPs，磁懸浮軸承 TMP、RP |
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節(jié)能設(shè)計(jì) |
正常運(yùn)行：1.2 kVA |
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為用戶提供詳盡的儀器用途、重要參數(shù)的說明，還為客戶提供不同品牌產(chǎn)品間的性能比較，給用戶最中肯的購買建議。
安裝驗(yàn)收合格后整機(jī)保修壹年。在質(zhì)保期內(nèi)，我們負(fù)責(zé)為用戶的設(shè)備提供免費(fèi)維護(hù)、保養(yǎng)和免費(fèi)更換損壞的零部件；
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