用于故障分析與敏感材料研究的高真空原子力顯微鏡

Park NX-Hivac通過為失效分析工程師提供高真空環(huán)境來提高測量度以及原子力顯微鏡測量的可重復性。與一般環(huán)境或干燥N2條件相比，高真空測量具有準確度高、可重復性好及針尖和樣本損傷低等優(yōu)點，因此用戶可測量各種故障分析應用中許多信號響應，例如掃描擴散電阻顯微術(SSRM)的摻雜物濃度。

Park NX-Hivac使得真空環(huán)境中高準確度和高分辨率測量的材料科學研究遠離氧氣與其它藥劑的影響。

在高真空條件下執(zhí)行掃描擴散電阻顯微鏡測量可減少所需的針尖-樣本相互作用力，從而大幅度降低對樣本和針尖的損傷。如此可延長各針尖的使用壽命，使掃描更加低成本和便捷，并通過提高空間分辨率和信噪比得到更為準確的結果。因此，利用NX-Hivac進行的高真空掃描擴散電阻顯微術測量可謂是故障分析工程師增加其吞吐量、減少成本和提高準確性的明智選擇。

Park Hivac 管理器
NX-Hivac 真空自動控制
Hivac 管理器通過一鍵單擊在邏輯和視覺上控制真空條件抽氣和排氣過程來實現高真空。各個過程通過顏色和圖示變化得到直觀監(jiān)控，一鍵單擊后您即可無需操心真空操作順序。更快速、更簡便的真空控制軟件使原子力顯微鏡的使用更便捷更。

自動化特點
NX-Hivac具有大量功能從而能夠減少用戶輸入。換言之，您可以更快速地掃描，提高實驗室產量。

配備電控載物臺的StepScan 自動化掃描
StepScan允許用戶能夠對器件進行編程從實現而快速便捷地多區(qū)域成像。NX-Hivac讓您只需五步即可完成樣本掃描：掃描、提升懸臂、移動電動平臺至用戶定義坐標區(qū)域、進針及重復掃描。如此可很大地提高生產率，減少用戶輸入。

電動激光對準
Park電動激光對準使用戶無需輸入即可無縫銜接自動化測量例程。憑借著我們先進的預準直懸臂架，在更換探針時激光已對準懸臂。只需要調整定位旋鈕，便可在X和Y軸上任意定位激光光點，達到位置。

提高精度和生產率
NX-Hivac即是全球準確的高性能原子力顯微鏡，同時也是用于故障分析的方便的原子力顯微鏡之一。Park NX-Hivac幫您可以提高自己的生產效率，并確保取得靠譜的結果。

閉環(huán)XY和Z軸掃描儀
利用兩個獨立的閉環(huán)XY和Z軸撓曲掃描儀，您可以確信掃描的高度。NX-Hivac提供低殘余彎曲的平面和正交XY軸掃描，使得整個掃描范圍內的離面運動距離低于1 nm。此外，NX-Hivac的特色還有非線性為低于0.5%的15 μm掃描范圍的高速Z軸掃描儀，無需進行軟件后期處理即可獲得的二維和三位測量。

低噪聲XYZ軸位置傳感器
NX-Hivac具有Park原子力顯微鏡的低噪聲Z軸探測器功能，可準確測量樣本形貌，同時低噪聲XY軸閉環(huán)掃描將前后掃描間隙降低至掃描范圍的0.15%。

24位數字電子控制器
24-bit-digital-electronics
NX-Hivac的一大特點是NX系列電子控制器可實現時間浪費小化、精度。我們的控制器為全數字、24位高速器件，用戶能夠利用其執(zhí)行一系列掃描，包括我們的非接觸（True Non-Contact）模式。控制器具有低噪聲設計和高速處理部件，是電壓和電流測量及納米級成像的之選。嵌入式電子產品同時具有數字信號處理特點，用戶可輕松地分析測量值和成像。

Park NX-Hivac技術參數

掃描器
Z掃描器
柔性引導高推動力掃描器

掃描范圍: 15 µm (可選 30 µm)
高度信號噪聲等級: 30 pm
(RMS, at 0.5 kHz bandwidth)
 
XY掃描器
閉環(huán)控制的柔性引導XY掃描器

掃描范圍: 100 µm × 100 µm
(可選50 µm × 50 µm)

驅動臺
Z位移臺行程范圍 : 24 mm (Motorized)
聚焦樣品臺行程范圍 : 11 mm (Motorized)
XY位移臺行程范圍 : 22 mm x 22 mm (Motorized)
 
樣品架
樣品大小: 大尺寸為 50 mm x 50 mm, 厚度大值為 20 mm
樣品重量 : < 500 g
 
光學
10倍超長工作距離鏡頭
樣品表面和懸臂的直觀同軸影像
視野 : 840 × 630 µm (帶10倍物鏡)
CCD : 5 M pixel
 
物理信息內真空室: 300 mm x 420 mm x 320 mm
外部真空 (including granite & pump) : 800 mm x 950 mm x 1240 mm
 
高真空
真空等級: 通常小于 1 x 10-5 torr
托泵速 : 使用渦輪和干式泵在約5分鐘內達到 10-5 torr

軟件
SmartScan™
AFM系統(tǒng)控制和數據采集軟件
智能模式的快速設置和簡易成像
手動模式的使用和更的掃描控制

XEI
AFM數據分析軟件

真空管理器
自動真空控制軟件
 
電子
集成功能
4通道靈活的數字鎖相放大器
彈簧常數校準（熱法，可選）
數字Q控制

外部信號接入
20個嵌入式信號輸入/輸出端口
5個TTL輸出 : EOF、EOL、EOP、調制和交流偏置
 
AFM模式
(*Optionally available)
標準成像
非接觸原子力顯微鏡
PinPoint™原子力顯微鏡
接觸式原子力顯微鏡
側向力原子力顯微鏡(LFM)
相位成像
輕敲式原子力顯微鏡

力值測試
力距離(F/d)光譜
力體積成像

介電/壓電特性
靜電力顯微鏡 (EFM)
動態(tài)接觸式靜電力顯微鏡 (EFM-DC)
壓電響應力顯微鏡 (PFM)
高壓PFM*
 
機械性能
力調制顯微鏡 (FMM)
納米壓痕*
納米刻蝕*
高壓納米刻蝕*
納米操縱*
 
磁學特性*
磁力顯微鏡(MFM)
   
電學特性
導電原子力顯微鏡(C-AFM)*
電流-電壓分光譜*
開爾文探針力顯微鏡 (KPFM)
掃描電容顯微鏡 (SCM)*
掃描擴展電阻顯微鏡 (SSRM)*
掃描隧道顯微鏡 (STM)*