產(chǎn)品特性：作為一款缺陷形貌分析的測量儀器，其主要目的是對樣品進行缺陷檢測。而儀器所提供的數(shù)據(jù)不能允許任何錯誤的存在。Park NX20，這款大型樣品原子力顯微鏡，憑借著數(shù)據(jù)準確性，在半導體和超平樣品行業(yè)中大受贊揚。
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作為一款缺陷形貌分析的精細測量儀器，其主要目的是對樣品進行缺陷檢測。而儀器所提供的數(shù)據(jù)不能允許任何錯誤的存在。Park NX20，這款精細的大型樣品原子力顯微鏡，憑借著優(yōu)越的數(shù)據(jù)準確性，在半導體和超平樣品行業(yè)中大受贊揚。
分析功能
Park NX20可快速幫助客戶找到產(chǎn)品失效的原因，并幫助客戶制定出更多具有創(chuàng)意的解決方案。精細度為您帶來高分辨率數(shù)據(jù)，讓您能夠更加專注于工作。與此同時，非接觸掃描模式讓探針更鋒利、更耐用，無需為頻繁更換探針而耗費大量的時間。
即便是接觸原子顯微鏡的工程師也易于操作
ParkNX20擁有業(yè)界便捷的設(shè)計和自動界面，讓你在使用時無需花費大量的時間和精力，也不用為此而時時不停的指導初學者。借助這一系列特點，您可以更加專注于解決更為重大的問題，并為客戶提供及時且富有洞察力的失效分析報告。
NX20的創(chuàng)新架構(gòu)讓您可以檢測樣品的側(cè)壁和表面，并測量它們的角度。眾多的功能和用途正是您的創(chuàng)新性研究和敏銳洞察力。
對樣品和基片進行表面光潔度測量
表面光潔度測量是Park NX20的關(guān)鍵應(yīng)用之一，能夠帶來失效分析和質(zhì)量保證。
QuickStep SCM
掃描式電容顯微鏡
PinPoint AFM
無摩擦導電原子力顯微鏡
多種技術(shù)幫助顧客減少測試時間
CrN樣品所做的針尖磨損實驗
通過對比重復(fù)掃描情況下探針的形狀變化，您可以輕易看到Park的非接觸模式的優(yōu)勢所在。
借助非接觸模式，探針在掃描氮化鉻樣品（即探針檢測樣品）200次后仍可保持鋒利的狀態(tài)。氮化鉻的表面粗糙且研磨性強，會讓普通的探針很快變鈍。
低噪聲Z探測器測量準確的樣品表面形貌
沒有壓電蠕變誤差的樣品表面形貌
超低噪聲Z探測器，噪音水平低于0.02 nm,從而達到樣品形貌成像，沒有邊沿過沖無需校準。Park NX20在為您提供好的數(shù)據(jù)的同時也為您節(jié)省了寶貴的時間。
使用低噪聲Z探測器信號進行臺階形貌測量。
在大范圍掃描過程中系統(tǒng)Z向噪音小于0.02 nm。
沒有前沿或后沿過沖現(xiàn)象
終身無需校準，減少設(shè)備維護成本
Park NX系列原子力顯微鏡
掃描范圍: 15 µm (可選 30 µm)
高度信號噪聲等級: 30 pm
(RMS, at 0.5 kHz帶寬)
XY掃描器
閉環(huán)控制的柔性引導XY掃描器
掃描范圍: 100 µm × 100 µm
(可選 50 µm × 50 µm)
驅(qū)動臺
Z位移臺行程范圍 : 25 mm (Motorized)
聚焦樣品臺行程范圍 : 15 mm (Motorized)
XY位移臺行程范圍 : 150 mm x 150 mm (Motorized)
樣品架
樣品尺寸 : 基本配置開放空間為 150 mm x 150 mm,厚度值為 20 mm (可選，可擴展到 200 mm x 200 mm)
樣品重量 : < 500 g
光學
10倍 (0.23 N.A.)超長工作距離鏡頭 (1µm分辨率)
樣品表面和懸臂的直觀同軸影像
視野 : 840 × 630 µm (帶10倍物鏡)
CCD : 100萬像素, 500萬像素 (可選)
軟件
SmartScan™
AFM系統(tǒng)控制和數(shù)據(jù)采集的專用軟件
智能模式的快速設(shè)置和簡易成像
手動模式的使用和掃描控制
XEI
AFM數(shù)據(jù)分析軟件
電子
集成功能
4通道數(shù)字鎖相放大器
數(shù)據(jù)Q控制
信號處理
ADC : 18 channels 4 high-speed ADC channels 24-bit ADCs for X, Y and Z scanner position sensor
DAC : 17 channels 2 high-speed DAC channels 20-bit DACs for X, Y and Z scanner positioning
Maximum data size : 4096 x 4096 pixels
連接外部信號
20個嵌入式輸入/輸出端口
5個TTL輸出 : EOF, EOL, EOP, 調(diào)制和交流偏壓
AFM模式
(*可選項)
標準成像
非接觸式原子力顯微鏡
PinPoint™ 原子力顯微鏡
接觸式原子力顯微鏡
橫向力顯微鏡(LFM)
相位成像
輕敲式原子力顯微鏡
力測量
力-距離(F/d)光譜
力譜成像
介電/壓電性能
靜電力顯微鏡 (EFM)
動態(tài)接觸式靜電力顯微鏡 (EFM-DC)
壓電力顯微鏡 (PFM)
高壓壓電力顯微鏡*
機械性能
力調(diào)制顯微鏡 (FMM)
納米壓痕*
納米刻蝕*
高壓納米刻蝕*
納米操縱*
磁學性能*
磁力顯微鏡 (MFM)
可調(diào)制磁力顯微鏡
電性能
導電原子力顯微鏡 (C-AFM)*
IV 譜線*
掃描開爾文探針顯微鏡 (KPFM)
掃描電容顯微鏡 (SCM)*
掃描電阻顯微鏡 (SSRM)*
掃描隧道顯微鏡 (STM)*
光電流測繪 (PCM)*
化學性能*
功能化探針的化學力顯微鏡
電化學顯微鏡 (EC-AFM)
定制您原子力顯微鏡
Park的自動化控制軟件，可根據(jù)您的預(yù)設(shè)程序自動進行AFM測量。它可以準確地收集數(shù)據(jù)，執(zhí)行模式識別，并使用它的尋邊器和光學模塊進行分析，不需要人工介入，從而為您節(jié)省大量寶貴時間。
傾斜樣品傾角夾具，可幫助您進行樣品側(cè)壁成像。
NX20的創(chuàng)新架構(gòu)實現(xiàn)了對樣品側(cè)壁和表面的檢測，還能夠測量出相應(yīng)角度。這為您提供了更多的創(chuàng)新研究方案和對樣品更深入的理解。
溫度穩(wěn)定的隔音罩
創(chuàng)新的控制設(shè)計使Park NX20能夠快速達到溫度平衡
NX20具有主動隔振功能。
集成編碼器的自動載臺
• XY馬達運動工作時分辨率為1 µm，重復(fù)率為2 µm。
• Z馬達運動的分辨率為0.1 µm，分辨率為1 µm。
樣品盤
• 用于電氣測量的專用小樣品架
• 用于固定晶圓的真空槽
溫度控制
· 溫控臺 1: -25 °C to +170 °C
·溫控臺 2: Ambient to +250 °C
· 溫控臺 3: Ambient to +600 °C
為用戶提供詳盡的儀器用途、重要參數(shù)的說明，還為客戶提供不同品牌產(chǎn)品間的性能比較，給用戶最中肯的購買建議。
安裝驗收合格后整機保修壹年。在質(zhì)保期內(nèi)，我們負責為用戶的設(shè)備提供免費維護、保養(yǎng)和免費更換損壞的零部件；
為用戶提供詳盡的儀器用途、重要參數(shù)的說明，還為客戶提供不同品牌產(chǎn)品間的性能比較，給用戶中肯的購買建議。
安裝驗收合格后整機保修壹年。在質(zhì)保期內(nèi)，我們負責為用戶的設(shè)備提供免費維護、保養(yǎng)和免費更換損壞的零部件；
