產(chǎn)品特性：布魯克原子力顯微鏡Dimension FastScan特點(diǎn)：分辨率-無論何時(shí),無論哪次、高寬帶，從而快速掃描，觀察實(shí)時(shí)變化、潛力無限-機(jī)器靈活的開放式架構(gòu)、獲得全方面的納米尺度的定量特性參數(shù)、超乎想象的簡單
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Park NX20 300mm
可用于 300mm晶片圓測(cè)量和分析的自動(dòng)化納米測(cè)量工具
Park NX20 300mm是業(yè)界大樣品原子力顯微鏡，支持300mm×300mm全程機(jī)動(dòng)化。新升級(jí)的Park NX20系統(tǒng)專為失效分析和質(zhì)量控制實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)，可檢測(cè)整個(gè)300mm晶圓，且無需任何繁瑣的樣品位移。盡管擴(kuò)大了支持300mm樣品的機(jī)動(dòng)XY工作臺(tái)，但Park的創(chuàng)新性振動(dòng)隔離技術(shù)仍然能夠?qū)⑾到y(tǒng)噪聲保持在低于0.5 (Å) RMS，通常是0.3 Å RMS的水平。
經(jīng)檢驗(yàn)的原子力顯微鏡性能和單擊-原子力顯微鏡自動(dòng)化取消了樣本調(diào)整的需求，并使Park NX20的掃描過程盡可能便于使用。通過我們的“批處理模式(Program Mode)”界面，用戶可以在整個(gè)300mmx300mm區(qū)域輕松實(shí)現(xiàn)可靠與可重復(fù)的順序多站點(diǎn)測(cè)量。
專為大樣品晶圓檢測(cè)而建
NX20 300 mm進(jìn)行了全新設(shè)計(jì)，可達(dá)到大樣品的測(cè)量。整個(gè)300mm晶圓區(qū)域可進(jìn)行低噪聲原子力顯微鏡測(cè)量分析。這開啟了一個(gè)全新的自動(dòng)化測(cè)量范圍，讓工程師可以更快捷、更簡便、更準(zhǔn)確地開展工作。
靈活的300mm樣品吸盤
Park NX20 300mm真空吸盤支持各種尺寸、形狀和類型的晶圓，讓用戶幾乎可準(zhǔn)確掃描任何樣品。
機(jī)動(dòng)化的300mm XY軸工作臺(tái)允許用戶在300mm的全部區(qū)域內(nèi)移動(dòng)原子力顯微鏡的測(cè)量位置。
NX20 支持300mm樣品臺(tái)，性能已被證實(shí)
因其易用性和自動(dòng)化以及不受影響的精度，NX20已是FA、QA和QC工程師的選擇。憑借其支持300mm電動(dòng)XY軸工作臺(tái)的擴(kuò)大平臺(tái)，NX20 300mm更上一層樓，允許用戶輕松地以很高的精度檢測(cè)更大的樣品。
Park NX20配備了我們的SmartScan操作系統(tǒng)，使其成為市場(chǎng)上最易于使用的原子力顯微鏡之一。通過直觀且強(qiáng)大的界面，即便是未經(jīng)培訓(xùn)的用戶無需協(xié)助也可快速掃描大樣品。這使工程師能夠集中精力解決更大的問題和開發(fā)更好的解決方案。
A在完整300mm晶圓上掃描多個(gè)位點(diǎn)
SmartScan™允許用戶從位點(diǎn)到位點(diǎn)和樣品到樣品的層面上，借助基于網(wǎng)格和晶圓的模式，進(jìn)行自動(dòng)順序測(cè)量與表面形態(tài)、高度和表面粗糙度的比較。這可以大大提高掃描大樣品時(shí)的用戶便利性和生產(chǎn)效率。
B強(qiáng)大的工作創(chuàng)建功能
格式創(chuàng)建流程簡單，允許工程師設(shè)置每個(gè)批次的位置、名稱、數(shù)量和類型所定義的預(yù)設(shè)。
針對(duì)廣泛應(yīng)用性進(jìn)行優(yōu)化
NX20 300mm為眾多應(yīng)用提供自動(dòng)格式的原子力顯微鏡測(cè)量，為納米級(jí)的樣品提供測(cè)量和分析。具有粗糙度、高度和深度測(cè)量，缺陷檢查，電氣和磁故障分析，熱性能表征和納米力學(xué)性能成像等能力，該原子力顯微鏡是檢測(cè)大樣品的FA、QA和QC工程師執(zhí)行各種任務(wù)的理想選擇。
Park NX20 300mm Specifications
Scanner
Z Scanner
Guided high-force flexure scanner
Scan range : 15 µm (optional 30 µm)
Height noise level : 30 pm
(RMS, at 0.5 kHz bandwidth)
XY Scanner
Single module flexure XY-scanner with dual servo closed-loop control
Scan range : 100 µm × 100 µm
Stage
Z stage range : 25 mm (Motorized)
Focus travel range : 8 mm (Motorized)
XY stage travel range : 300 mm x 300 mm (Motorized)
Sample Mount
Sample size : 100, 150, 200, 300 mm wafers, small sample Magnetic sample holder, thickness up to 20 mm
Sample weight : < 500 g
Optics
10x (0.23 NA) ultra-long working distance lens (1 µm resolution)
Direct on-axis vision of sample surface and cantilever
Field-of-view : 840 × 630 µm (with 10× objective lens)
CCD : 5 M pixel
Software
SmartScan™
Dedicated system control and data acquisition software
Auto mode, Manual mode
Program mode for recipe-automated, sequential multiple-site measurement AFM operation
XEI
AFM data analysis software
Electronics
Integrated functions
4 channels of flexible digital lock-in amplifier
Digital Q control
Signal processing
ADC : 18 channels 4 high-speed ADC channels 24-bit ADCs for X, Y and Z scanner position sensor
DAC : 17 channels 2 high-speed DAC channels 20-bit DACs for X, Y and Z scanner positioning
Maximum data size : 4096 x 4096 pixels
External signal access
20 embedded signal input/output ports
5 TTL outputs : EOF, EOL, EOP, Modulation, and AC bias
AFM Modes
(*Optionally available)
Standard Imaging
True Non-Contact AFM
PinPoint™ AFM
Basic Contact AFM
Lateral Force Microscopy (LFM)
Phase Imaging
Tapping AFM
Force Measurement
Force Distance (F/d) Spectroscopy
Force Volume Imaging
Dielectric/Piezoelectric Properties
Electric Force Microscopy (EFM)
Dynamic Contact EFM (EFM-DC)
Piezoresponse Force Microscopy (PFM)
PFM with High Voltage*
Mechanical Properties
Force Modulation Microscopy (FMM)
Nanoindentation*
Nanolithography*
Nanolithography with High Voltage*
Nanomanipulation*
Magnetic Properties*
Magnetic Force Microscopy (MFM)
Tunable Magnetic Field MFM
Electrical Properties
Conductive AFM (C-AFM)*
IV Spectroscopy*
Kelvin Probe Force Microscopy (KPFM)
Scanning Capacitance Microscopy (SCM)*
Scanning Spreading-Resistance Microscopy (SSRM)*
Scanning Tunneling Microscopy (STM)*
Photo Current Mapping (PCM)*
Chemical Properties*
Chemical Force Microscopy with Functionalized Tip
Electrochemical Microscopy (EC-AFM)
為用戶提供詳盡的儀器用途、重要參數(shù)的說明，還為客戶提供不同品牌產(chǎn)品間的性能比較，給用戶最中肯的購買建議。
安裝驗(yàn)收合格后整機(jī)保修壹年。在質(zhì)保期內(nèi)，我們負(fù)責(zé)為用戶的設(shè)備提供免費(fèi)維護(hù)、保養(yǎng)和免費(fèi)更換損壞的零部件；
為用戶提供詳盡的儀器用途、重要參數(shù)的說明，還為客戶提供不同品牌產(chǎn)品間的性能比較，給用戶中肯的購買建議。
安裝驗(yàn)收合格后整機(jī)保修壹年。在質(zhì)保期內(nèi)，我們負(fù)責(zé)為用戶的設(shè)備提供免費(fèi)維護(hù)、保養(yǎng)和免費(fèi)更換損壞的零部件；
